什么是等離子清洗機（Plasma Cleaner）

等離子清洗機又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合。

等離子清洗機的作用

金屬器材表面附著有油脂、油污等有機物和氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，通過等離子清洗機處理可以獲得潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗可以除去器材表面細小的油膜、銹跡或其他油類污物，而且在等離子清洗后，不會在器材表面留下殘余物。

等離子清洗機的原理

在經過低溫等離子體表面處理后，材料表面會發生多種物理、化學變化。可用于清除碳化氫類污物，如油脂，輔助添加劑等，或產生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯層，或引入含氧***性基團（羥基、羧基），通過等離子體處理得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

在同樣效果下，應用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他機器、化學處理等強烈作用成份來增加粘合性。

等離子表面清洗機的應用領域

1、半導體集成電路及微電子產業；

2、LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造；

3、等離子清洗機生物醫療材料表面改性修飾；

4、精密儀器、機械及電氣制造；

5、等離子處理機聚合物薄膜、紡織纖維改性處理；

6、APR大氣等離子清洗機手機觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化；

7、等離子表面處理器用于汽車制造、橡膠塑料產業。

8、適用于實驗室科研、小批量生產，小部件納米清洗、表面活化、表面改性或PCB制造、半導體LED制造、TSPOLED設備、真空等離子噴涂系統等工業應用領域。

復坦希等離子表面清洗機的優勢

1、清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個工藝流水線的處理效率；

2、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；

3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，在等離子清潔后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于綠色環保型清洗方法；

4、采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀，而且對這些難清洗部位的清洗效果相對于傳統氟利昂清洗的效果會更好；

5、等離子清洗機可以有效提高清洗效率，整個清洗流程在短短的幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點；

6、等離子清洗需要控制的真空度大約為100Pa，這種清洗條件很容易達到，因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝；

7、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生；

8、等離子體清洗機可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質，而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗；

9、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的。